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來(lái)談?wù)凜F4泄漏檢測(cè)的七個(gè)基本要素

更新時(shí)間:2021-01-11瀏覽:2033次
  CF4泄漏檢測(cè)基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜檢測(cè)技術(shù),結(jié)合量子級(jí)聯(lián)激光(QCL)光源,可對(duì)CF4的中紅外基本光譜吸收峰進(jìn)行研究。兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度,可以毫不延遲地檢測(cè)到小濃度的CF4飛濺或溢出,同時(shí)確保了超高的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)周期持續(xù)數(shù)月甚至數(shù)年,從而大大減低了總體持有成本。
  高靈敏度的CF4泄漏檢測(cè)可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測(cè)污染物。另外,由于其零背景特性,直接吸收檢測(cè)可以確保長(zhǎng)期的高穩(wěn)定性。準(zhǔn)確,可靠且維護(hù)成本低的潔凈室污染控制,快速的響應(yīng)時(shí)間以捕獲濃度的突然增加,獨(dú)立的操作系統(tǒng),內(nèi)置的氣體交換泵,無(wú)消耗品或化學(xué)試劑,光路短,單點(diǎn)校準(zhǔn)也可達(dá)到一定動(dòng)態(tài)范圍,直接吸收測(cè)量,無(wú)漂移,高選擇性,并且不受乙醛和其他VOC的干擾。
 

CF4泄漏檢測(cè)

  1、響應(yīng)時(shí)間:取決于用戶定義的通道積分時(shí)間CIT和氣體沖洗設(shè)置。根據(jù)平均時(shí)間和采樣設(shè)置,它從10秒到幾分鐘不等。
  2、監(jiān)測(cè)下限:小于0.1ppb。
  3、動(dòng)態(tài)范圍:大于5個(gè)數(shù)量級(jí)(檢測(cè)下限的100,000倍)。
  4、重復(fù)性:在操作條件下,校準(zhǔn)濃度的重復(fù)性小于1%。
  5、精度:校準(zhǔn)濃度高于5%,這受校準(zhǔn)氣體精度的限制。
  6、溫度穩(wěn)定性:CF4泄漏檢測(cè)不會(huì)由于工作溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化而引起漂??移。
  7、壓力穩(wěn)定性:樣品在壓力范圍內(nèi)的壓力變化不會(huì)引起漂移。
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